《苏州工业园区关于促进微纳电子机械系统产业发展实施细则（试行）》
苏园科 2016 3 号
第一条 为进一步推动苏州工业园区微纳电子机械系统（以 下简称 MEMS）产业发展，促进 MEMS 产品快速产业化，落实《园区管委会关于实施创新驱动战略、进一步鼓励科技创新的若 干意见》，特制定本实施细则。
第二条 本细则所涉及的补贴项目是指企业在园区 MEMS中试平台进行 MEMS 新产品芯片的中试研发、流片、和小规模 生产项目。
第三条 第三条 本细则所涉及的 MEMS 企业应在苏州工业园区注册、具有独立法人资格。企业投产后的研发、生产、经营和纳税 关系应在园区。
第四条 第四条 经认定的 MEMS 产品可按以下标准给予一次性导 入补贴：
1、使用金、铂金、钯、钌、银、铟、铯等贵金属的 MEMS 产品，或流片特征尺寸小于 10 微米（含 10 微米）的 MEMS 产 品，补贴比例最高为 50%，单家 MEMS 企业补贴总额每年不超过 100 万元；
2、流片特征尺寸大于 10 微米的 MEMS 产品，补贴比例最 高为 40%，单家 MEMS 企业补贴总额每年不超过 100 万元；
3、中试平台进行 MEMS 新产品中试工艺能力开发，经论证 可按最高 30%比例给予研发补贴，单个产品研发补贴不超过 30 万元，每个中试平台每年累积享受的补贴金额不超过 120 万元。
4、鼓励具有技术领先性、产业带动性和广阔市场前景的重大 MEMS 项目落户园区，经评估，优先按《苏州工业园区关于 推进科技领军人才创新创业工程的实施意见》（苏园工[2015]28 号）给予支持。
第五条 MEMS 产品补贴申报流程如下：
1、补贴采用“先用后补”的方式，补贴申请常年受理，按期发放；
2、企业需如实填报项目补贴申请表并加盖公司公章，同时需提供 MEMS 产品中试服务合同、费用凭证等相关证明材料；
3、审核通过后，按照 MEMS 政策标准发放补贴。
第六条 如发现企业在申报补贴过程中存在弄虚作假行为，一经核实，将追回全部补贴款项，列入企业信用黑名单，三 年内不得申请任何科技资金补贴。
第七条 本细则自发布之日起实行，试行期限暂定两年。本细则由苏州工业园区科技发展局负责解释。
